Novel concept of a low-power high-volume microfluidic actuator: theory of operation and experimental characterization

Quentin Lavigne; Nicolas Terrier; Guillaume Noetinger; Duc-Duy Tran; Simon Kulifaj; Pascal Kleimann; Patrick Pittet; Bruno Berge

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Novel concept of a low-power high-volume microfluidic actuator: theory of operation and experimental characterization

Quentin Lavigne Nicolas Terrier ¹ Guillaume Noetinger Duc-Duy Tran Simon Kulifaj Pascal Kleimann ² Patrick Pittet ³ Bruno Berge

1 INL - Nanolyon - INL - Plateforme Technologique Nanolyon

INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon

2 INL - LOCI - INL - Lab-On-Chip et Instrumentation

INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon

3 INL - CSH - INL - Conception de Systèmes Hétérogènes

INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon

Quentin Lavigne AuthorId : 11439452
Author

Nicolas Terrier ¹ AuthorId : 233662
Author

Guillaume Noetinger AuthorId : 11439453
Author

Duc-Duy Tran AuthorId : 11439454
Author

Simon Kulifaj AuthorId : 11439455
Author

Pascal Kleimann ² AuthorId : 1465713

Author IdHAL : pascal-kleimann ORCID : https://orcid.org/0000-0002-6001-4477

Patrick Pittet ³ AuthorId : 532678

Author IdHAL : patpittet

Bruno Berge AuthorId : 394987
Author

1 INL - Nanolyon - INL - Plateforme Technologique Nanolyon (France) StructId : 527415

INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon (France) StructId : 179701
- ECL - École Centrale de Lyon (36 avenue Guy de Collongue - 69134 Ecully cedex - France) StructId : 126765
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
- UCBL - Université Claude Bernard Lyon 1 (43, boulevard du 11 novembre 1918, 69622 Villeurbanne cedex - France) StructId : 194495
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
- CPE - École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (Domaine Scientifique de la Doua Bâtiment Hubert Curien 43 Boulevard du 11 Novembre 1918 69616 Villeurbanne - France) StructId : 210962
- INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (20 Avenue Albert Einstein, 69621 Villeurbanne cedex - France) StructId : 219748
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
  - INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5270 (France) StructId : 441569

2 INL - LOCI - INL - Lab-On-Chip et Instrumentation (France) StructId : 527413

INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon (France) StructId : 179701
- ECL - École Centrale de Lyon (36 avenue Guy de Collongue - 69134 Ecully cedex - France) StructId : 126765
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
- UCBL - Université Claude Bernard Lyon 1 (43, boulevard du 11 novembre 1918, 69622 Villeurbanne cedex - France) StructId : 194495
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
- CPE - École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (Domaine Scientifique de la Doua Bâtiment Hubert Curien 43 Boulevard du 11 Novembre 1918 69616 Villeurbanne - France) StructId : 210962
- INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (20 Avenue Albert Einstein, 69621 Villeurbanne cedex - France) StructId : 219748
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
  - INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5270 (France) StructId : 441569

3 INL - CSH - INL - Conception de Systèmes Hétérogènes (France) StructId : 527407

INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon (France) StructId : 179701
- ECL - École Centrale de Lyon (36 avenue Guy de Collongue - 69134 Ecully cedex - France) StructId : 126765
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
- UCBL - Université Claude Bernard Lyon 1 (43, boulevard du 11 novembre 1918, 69622 Villeurbanne cedex - France) StructId : 194495
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
- CPE - École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (Domaine Scientifique de la Doua Bâtiment Hubert Curien 43 Boulevard du 11 Novembre 1918 69616 Villeurbanne - France) StructId : 210962
- INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (20 Avenue Albert Einstein, 69621 Villeurbanne cedex - France) StructId : 219748
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
  - INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5270 (France) StructId : 441569

Document type :

Journal articles

Domain :

Engineering Sciences [physics] / Micro and nanotechnologies/Microelectronics

Engineering Sciences [physics] / Optics / Photonic

Complete list of metadatas

https://hal-univ-lyon1.archives-ouvertes.fr/hal-02072918
Contributor : Pascal Kleimann <>
Submitted on : Tuesday, March 19, 2019 - 3:09:02 PM
Last modification on : Wednesday, March 20, 2019 - 1:26:38 AM

Identifiers

HAL Id : hal-02072918, version 1
DOI : 10.1016/j.sna.2019.03.018

Collections

UNIV-LYON1 | EC-LYON | INL | INSA-LYON | INSA-GROUPE

Citation

Quentin Lavigne, Nicolas Terrier, Guillaume Noetinger, Duc-Duy Tran, Simon Kulifaj, et al.. Novel concept of a low-power high-volume microfluidic actuator: theory of operation and experimental characterization. Sensors and Actuators A: Physical , Elsevier, 2019, ⟨10.1016/j.sna.2019.03.018⟩. ⟨hal-02072918⟩

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